羅茨真空泵工作原理
羅茨真空泵是一種無(wú)內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵?？勘们粌纫粚θ~形轉子同步、反向旋轉的推壓作用來(lái)移動(dòng)氣體而實(shí)現抽氣的真空泵。羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。
它的結構和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似，工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統主抽泵相接。這種真空泵的轉子與轉子之間、轉子與泵殼之間互不接觸，間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤滑。轉子型線(xiàn)有圓弧線(xiàn)、漸開(kāi)線(xiàn)和擺線(xiàn)等。漸開(kāi)線(xiàn)轉子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉子型線(xiàn)多用漸開(kāi)線(xiàn)型。羅茨真空泵的轉速可高達3450～4100轉/分；抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：?jiǎn)渭墳?.5×102帕，雙級為1×103帕。
羅茨真空泵的真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的真空。為了提高泵的真空度，可將羅茨真空泵串聯(lián)使用。羅茨真空泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過(guò)排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時(shí)，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。羅茨真空泵在泵腔內，有二個(gè)“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉運動(dòng)。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現高轉速運行。
